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共烧集成制备
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Advanced Science:基于压电超材料方法首次设计出剪切型多层共烧压电元器件

低温多层共烧陶瓷技术是大规模工业化生产制造铁电电容元件、压电致动元件、传感元件等先进集成器件的最重要手段。例如,基于低温多层陶瓷共烧制备的纵向应变(d33)模式压电堆,因其高的集成度、低的驱动电压、大的产生力等优势,已广泛应用于先进制造(如光刻机电机)、高端医疗设备(如呼吸机阀门)、航空航天(如卫星激光通讯)等多种精密微机电系统。然而,具有剪切应变输出的压电堆(一种基本的压电致动元件),传统上只能依靠昂贵的多个压电单晶片 (d36模态),或者多个压电陶瓷片 (d15模态) 粘接制备, 这不可避免地导致元器件的制造效…

2020年7月15日 0条评论 7952点热度 0人点赞 霜天 阅读全文
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