太赫兹技术作为一门新兴的科学技术，在安全检测、物质识别、保密通讯、宇宙探测、高精度雷达、组织活检、瞬态光谱研究等方面具有重要的应用前景，寻找合适的太赫兹源是太赫兹技术研究中的重点研究方向之一。其中，基于共振隧穿二极管（RTD）的太赫兹震荡源具有体积小、能量转换效率高、波长连续可调、易于集成、室温工作、可光电集成等优势，成为实现可实用太赫兹器件源的重要选择。 近年来，氮化物凭借其高饱和载流子漂移速率、高击穿场强、高热导率、耐辐射、更大范围的可调禁带宽度等优点，成为国际上光电器件材料研究的热点。基于氮化物的共振隧穿二极…