三维结构相比于传统二维平面结构具有更高的可控自由度、更丰富的空间构型，为新型光电器件的设计和应用提供更多的选择，并在器件的性能、集成度以及体积等方面具有更大的优势。近年来，随着微纳加工技术的进步和前沿领域研究需求的增加，三维微纳结构愈发引起人们的极大兴趣，尤其是在微纳光子学领域，人工三维结构能够实现电磁隐身、环磁共振、自旋手性、超透镜等一些系列新颖的光学特性，因而备受关注。然而，传统三维结构加工工艺中的加工速度慢、结构构型单一、亚微米尺度加工困难以及工艺流程复杂等问题极大地限制了其在微纳光子学器件中的应用。因此，发…